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產(chǎn)品中心

Product Center

低溫真空探針臺鄭科探

產(chǎn)品簡介

低溫真空探針臺鄭科探主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1771
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品牌鄭科探

低溫真空探針臺鄭科探主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。


    低溫真空探針臺鄭科探的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面最高可升溫到最高350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:030mmy方向調(diào)節(jié)范圍:020mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:020mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測


參數(shù);

真空腔體


加熱型

冷熱型

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350℃

-196-350℃

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

0.01mm


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